蠕動泵在在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用
發(fā)布時間2022-06-28 16:49:37瀏覽人數(shù)：845
高精度蠕動泵具有選擇流量、獲得所需流量、設(shè)置工作時間、啟動連續(xù)循環(huán)間隔、自動計算流量和運輸量等功能。當(dāng)注入量達到預(yù)設(shè)量時，將自動發(fā)出聲音警報，并具有斷電數(shù)據(jù)保護功能，停止工作后再打開一次，最后設(shè)置的數(shù)據(jù)將繼續(xù)可用。
半導(dǎo)體制造應(yīng)始終控制工藝工具的液體流動，棘手的應(yīng)用之一是化學(xué)機械平整(CMP)。CMP工具無法為拋光基板分配一致的漿速時，對產(chǎn)量、化學(xué)物質(zhì)使用和材料完整性有很大的負面影響。晶圓厚度的變化、缺陷密度的增加、工具停機時間和晶圓廢棄物的增加只是由于過程控制不良而可能出現(xiàn)的一些問題。
能實現(xiàn)漿料性能的圓片平整度、高精度蠕動泵通過控制料漿的輸送和分布，有助于實現(xiàn)這些目標。高精度蠕動泵的無創(chuàng)設(shè)計提供了直線流動路徑，沒有冷凝、固化和污染漿液的死流區(qū)域。流速達到0.5%。通過穩(wěn)定的流體輸送，漿液不僅可以繼續(xù)流向拋光墊，還可以減少漿料、化學(xué)物質(zhì)和去離子水的浪費。
高精度蠕動泵非常適合半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的高純度和腐蝕性化學(xué)環(huán)境。對于CMP，它提供了在拋光過程中向芯片分配點漿料所需的線性和重復(fù)性，低剪切力對CMP漿料溫和，通過變速操作，可以在大范圍的操作范圍內(nèi)控制流量，保持過程的完整性。
中文 
EN 
返回列表 
025-51197362
南京市江寧區(qū)天行西路9號潤璟國際3棟 
runzeliuti@runzeliuti.com